Shanghai On-chip Micro-Device Technology Co., Ltd. (「オンチップマイクロデバイス」または「AMIES」と呼ぶ)の発表によると、同社は昨日、500台目のステッパーリソグラフィー装置の納入式を開催し、これは我が国のハイエンド半導体装置業界の新たなレベルを示した。
オンチップマイクロアセンブリは、高度なパッケージングリソグラフィー装置がAMIESの主力製品であると述べた。高解像度、高いオーバーレイ精度、超広い露光視野などの重要な機能を備えています。強力な反り加工や厚糊加工能力を有しており、お客様の工程ニーズに合わせて柔軟に装置構成が可能です。
このタイプの製品は、フリップチップ、ファンイン、ファンアウトWLP/PLP、2.5D/3Dなどの高度なパッケージング技術の要件を満たすことができ、市場で高く評価されています。現在の世界シェアは35％、国内シェアは90％に達しています。
今回出荷された500台目のステッパーリソグラフィー装置は、盛和京微小半導体（江陰）有限公司に納入される予定です。盛和京偉とAMIESは良好な協力基盤を築いています。 Shenghe Jingweiは、AMIESとの戦略的協力をさらに深め、先進的な包装技術の革新と産業発展を共同で促進する意欲を表明した。
データによると、チップオンチップマイクロデバイスは2025年2月8日に設立されました。ハイエンド半導体装置の研究開発、生産、サービスに焦点を当てた革新的なテクノロジー企業です。同社は、ICフロントエンドチップ製造、ウェーハレベル/ボードレベルの高度なパッケージング、化合物半導体、新型ディスプレイなどのアプリケーション分野に、高精度、高性能、高信頼性の装置とソリューションを提供することに取り組んでいます。
ステッパー リソグラフィー マシン (ワークピース テーブル、マスク テーブル、フォーカシングおよびレベリング システムの 3 つの部分で構成) とは正確には何ですか?その正体は、ステッパーリソグラフィー技術により高解像度のパターン転写を実現する半導体製造装置であり、集積回路製造に欠かせない高精度投影露光装置（不可欠な基幹装置）です。その中心的な機能は、マスク パターンをフィールドごとにウェーハ表面に投影することです。
ステッパーリソグラフィー装置の光学系は、その技術の要として、照明システム、投影対物レンズ、マスクなどの複数のコアコンポーネントをカバーします。光学システムには照明、投影対物レンズ、レチクルが含まれており、リソグラフィー マシンの高解像度とパフォーマンスをサポートします。
